1. Лоадинг
Поставите обложени кварцни лончић на сто за размену топлоте, додајте силицијумску сировину, затим инсталирајте опрему за грејање, изолациону опрему и поклопац пећи, евакуишите пећ да бисте смањили притисак у пећи на 0,05-0,1мбар и одржали вакуум. Увести аргон као заштитни гас да би се притисак у пећи одржао на око 400-600мбар.
2. Грејање
Користите графитни грејач за загревање тела пећи, прво испарите влагу адсорбовану на површини графитних делова, изолационог слоја, силицијумских сировина итд., А затим полако загрејте да температура кварцног лончића достигне око 1200-1300℃. Овај процес траје 4-5 сати.
3. Топљење
Увести аргон као заштитни гас да би се притисак у пећи одржао на око 400-600мбар. Постепено повећавајте снагу грејања да бисте прилагодили температуру у лончићу на око 1500℃, а силицијумска сировина почиње да се топи. Задржите око 1500℃током процеса топљења док се топљење не заврши. Овај процес траје око 20-22 сата.
4. Раст кристала
Након што се силицијумска сировина отопи, снага грејања се смањује да би температура лончића пала на око 1420-1440℃, што је тачка топљења силицијума. Затим се кварцни лончић постепено помера наниже, или се изолациони уређај постепено подиже, тако да кварцни лончић полако напушта зону грејања и формира размену топлоте са околином; у исто време, вода се пропушта кроз плочу за хлађење да би се смањила температура растопа са дна, а кристални силицијум се прво формира на дну. Током процеса раста, интерфејс чврста и течност увек остаје паралелан са хоризонталном равнином све док се раст кристала не заврши. Овај процес траје око 20-22 сата.
5. Жарење
Након што је раст кристала завршен, због великог температурног градијента између дна и врха кристала, у инготу може постојати термички стрес, који је лако поново разбити током загревања силицијумске плочице и припреме батерије. . Стога, након што је раст кристала завршен, силицијумски ингот се држи близу тачке топљења 2-4 сата да би температура силицијумског ингота била уједначена и смањио термички стрес.
6. Хлађење
Након што се силицијумски ингот жари у пећи, искључите снагу грејања, подигните уређај за топлотну изолацију или потпуно спустите силицијумски ингот и унесите велики проток гаса аргона у пећ да бисте постепено смањили температуру силицијумског ингота на близу собна температура; истовремено, притисак гаса у пећи постепено расте све док не достигне атмосферски притисак. Овај процес траје око 10 сати.
Време поста: 20.09.2024